本文仅针对特种气体行业过滤器做简单阐述，举例如：SiH4，Cl2，NH3，HCl，Ar，N2等等

目前在电子特种气体行业常见的品牌如下：Pall，MOTT，Entegris，SWAGELOK，TEM等等。

过滤基本机理如下图：

针对具体使用中的型号选择依据如下：

1：材质兼容性（壳体及滤材）

PCTFE滤材+

L滤材+

Nickel滤材+

2：外观尺寸及接口标准

3：工作压力及工作温度

4：内部表面洁净度

5：过滤精度

6：过滤性能确认

7：流量-压降匹配度确认