由于它源自螺杆压缩机，所以螺杆真空泵的工作原理也与螺杆压缩机的工作原理相似。阳转子逆时针旋转，阴螺钉顺时针旋转。

吸入过程开始时的转子位置。此时，一对齿前端的轮廓完全啮合，并将与吸入口连接。当转子开始旋转时，齿的一端逐渐脱离啮合，形成齿间体积。齿间容积的膨胀在其中形成一定的真空，齿间容积仅与吸入口相连，因此气体在压差的作用下流入。

在随后的转子旋转过程中，阳转子齿与阴转子齿的齿槽连续分离，齿之间的体积不断膨胀，并与吸入孔相连。在吸气过程结束时，转子位置和齿间容积达到最大值。随着转子的旋转，齿间的体积不会增加。齿间容积在此位置与吸入孔断开，吸入过程结束。

阳转子顺时针旋转，阴转子逆时针旋转。转子上端面为吸入端面，下端面为排气端面。

螺杆真空泵在压缩过程开始时的转子位置。此时，气体被封闭空间中的转子齿和壳体包围，由于转子齿啮合，齿之间的体积将开始减小。随着转子的旋转，由于转子齿的啮合，齿间的体积不断减小。密封在齿间容积中的气体所占体积也减小，从而导致压力升高，从而实现气体压缩过程，该过程一直持续到齿间容积即将与排气孔相连为止。