洁净车间空调系统由3部分组成：过滤系统、冷却系统和加湿系统。

过滤系统：过滤系统的作用是过滤掉空气中的杂质，保证室内清洁，过滤系统通常包括颗粒物过滤器、活性炭过滤器和HEPA过滤器等。

冷却系统：冷却系统的作用是将室内的空气冷却，以满足室内温度的要求。通常会使用分体式空调机组，分体式空调机组的冷凝器组件安装在室外，室内机组安装在室内，两者之间连接管道进行通讯，当室内机组吸入室内空气时，冷凝器就会吸入热量，使室内空气变凉，并将热量排出室外。

加湿系统：加湿系统的作用是保持室内湿度，以满足室内湿度的要求。一般会采用加湿器或地源热泵，加湿器通过室内喷雾的方式将水蒸气加入室内空气，而地源热泵则利用地下水的热能将水蒸气加入室内空气。

洁净车间空调系统的工作原理是：过滤系统将室内的杂质过滤掉→冷却系统将室内的空气冷却使其保持在所需温度→加湿系统将水蒸气加入室内空气以满足室内温湿度的要求。