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方法

按照《洁净室施工及验收规范》，其高效过滤器检漏可有以下方法：

1.检漏仪法扫描

被检漏过滤器必须已测过风量，在设计风量的80%-%之间进行。

在同一送风面上要有多台过滤器时，在结构上允许的情况下，宜用每次只暴露一台过滤器的方法进行测定。

当几台或全部过滤器必须同时暴露在气溶胶中时，为了对所有过滤器造成均匀混合，宜在风机吸入端或这些过滤器前方支干管中引入检漏用气溶胶，立即在受检过滤器的正前方测定上风侧浓度。

2.粒子计数器法检漏

被检漏过滤器必须已测过风量，在设计风量的80%-%之间进行。

仪器系采样量为1-3L/min的可测0.5微米的光散射式粒子计数器。对于检漏，大溶量粒子计数器并不合适。

现在要说明的是：

现场用DOP法检漏既不易行，又非必要，更不直观，因为它反应的是浓度相对值而不是微粒用量。此外，DOP对过滤器带来了污染，是否有致癌作用还是个问题。

原来这两种检漏方法都要求一定的上游浓度，这是基于仪器的最小刻度、高效过滤器效率定义为99.97%和粒子计数器最小读数为1粒这些条件。

但最新研究和测定实践表明，上游浓度没有必要那样大，应从足以给工作区带来危险，测不出也就无所谓了。

据实验，高效过滤器上游浓度可能粒/L左右。计算表明，对于小到0.2mm的漏孔，在距过滤器表面25mm处(这是国内外有关标准的共同要求)，以2.83L/min流速采样时，将可得到约25粒/L的浓度，这是完全可以测出来的。

3.施工验收规范规定粒子计数器检漏时测出的微粒数不大于可以透过的理论上的微粒数的3倍或2倍(后者对超高效过滤器)。这方面的依据是作者提出过的计算。

但根据上述最新研究，对于以级为最高对象的普通0.5微米级高效过滤器，如果在离过滤器表面25mm处测出的微粒数不超过3粒/L，则不会给工作区带来超标的危险，因此这可以作为普通高效过滤器的检漏标准。

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确认

对于百级场所必须有高效过滤器在安装前的现场逐台全面检漏合格报告(允许包括修补以后的合格报告)，还必须有安装后的逐台边框扫描合格报告(允许包括修补以后的合格报告)。

对于低于百级的场所，必须有高效过滤器在安装后(包括修补、堵漏后的)边框扫描抽检合格报告(每室抽检不少于一个风口，风口多时，抽检比例宜不少于20%)

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